MARC状态：审校 文献类型：西文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- The physics of microfabrication / Ivor Brodie and Julius J. Muray.
- 出版发行项:
- New York : Plenum Press, c1982.
- ISBN:
- 0306408635
- 载体形态项:
- xix, 503 p. : ill. ; 24 cm.
- 个人责任者:
- Brodie, Ivor.
- 附加个人名称:
- Muray, Julius J.
- 论题主题:
- Microelectronics.
- 论题主题:
- Thin-film circuits.
- 中图法分类号:
- TN405
- 书目附注:
- Includes bibliographical references and index.
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