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题名/责任者:

金属有机物气相外延:理论与实践/(美) 杰拉尔德·B. 斯特林费洛著 张国义, 陈志忠译

出版发行项:

北京:北京大学出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-301-27517-7/CNY91.00

载体形态项:

512页:图;23cm

统一题名:

Organometallic vapor-phase epitaxy : theory and practice

其它题名:

理论与实践

丛编项:

中外物理学精品书系.引进系列;66

个人责任者:

斯特林费洛 (Stringfellow, Gerald B.) 著

个人次要责任者:

张国义 译

个人次要责任者:

陈志忠 译

学科主题:

有机金属化合物-气相外延生长

中图法分类号:

O627

一般附注:

“十三五”国家重点图书出版规划项目

版本附注:

译自原书第2版

责任者附注:

杰拉尔德·B. 斯特林费洛, 美国犹他大学教授, 世界OMVPE领域的积极领导者。

书目附注:

有书目和索引

提要文摘附注:

本书作为金属有机物气相外延( OMVPE或MOCVD) 基础理论和应用实践方面的教学参考书, 适用于材料物理, 材料化学和电子专业的本科生和研究生。同时也适合作为OMVPE生产和研发人员的工具书。本书第一章首先总揽了OMVPE的生长过程, 并和其他的外延工艺做细致的比较。第二到第六章则分别论述了OMVPE生长的各个方面: 热力学( 第二章) , 表面物理过程( 第三章) , 反应源( 第四章) , 动力学( 第五章) 以及流体力学和质量输运( 第六章) 。

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