MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- 国外集成电路光刻制版自动化/上海无线电七厂, 上海科学技术情报研究所编译
- 出版发行项:
- 上海:上海科学技术情报研究所,1977
- ISBN及定价:
- /CNY0.60
- 载体形态项:
- 68页;26cm
- 丛编项:
- 半导体器件生产自动化专辑
- 团体责任者:
- 上海无线电七厂 编译
- 团体责任者:
- 上海科学技术情报研究所 编译
- 学科主题:
- 集成电路工艺-电子束光刻
- 中图法分类号:
- TN405.98
- 科图法分类号:
- 73.75157
- 科图法分类号:
- 75.7552
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| 75.7552/2343 | 001100053 |  密集书库
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可借 | 密集书库 | |
| 75.7552/2343 | 001100055 | 密集书库
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可借 | 密集书库 |
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