MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- 国外半导体电子束曝光离子注入技术动向/上海科学技术情报研究所编
- 出版发行项:
- 上海:上海科学技术情报研究所,1972
- ISBN及定价:
- /CNY0.25
- 载体形态项:
- 34页:图表;26cm
- 团体责任者:
- 上海科学技术情报研究所 编
- 学科主题:
- 半导体技术-技术水平-外国
- 中图法分类号:
- TN311
- 科图法分类号:
- 73.67
- 科图法分类号:
- 73.6699
- 一般附注:
- 内部资料
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| 73.6699/2343 | 001088884 |  密集书库
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| 73.6699/2343 | 001088885 | 密集书库
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可借 | 密集书库 |
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