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题名/责任者:

扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术/工业和信息化部电子第五研究所组编 施明哲编著

版本说明:

第2版

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-121-42877-7/CNY188.00

载体形态项:

xvi, 480页:图;24cm

丛编项:

可靠性技术丛书

个人责任者:

施明哲 编著

团体次要责任者:

工业和信息化部电子第五研究所 组编

学科主题:

扫描电子显微镜

学科主题:

电子能谱仪

中图法分类号:

TN16

中图法分类号:

TH842

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

全书分为上、下两篇和一些相关的附录。上篇包括第1-9章, 主要论述了扫描电镜的原理、结构、操作要点和应用中几种常见的图像质量问题, 以及一些改善图像质量的应对方法和措施, 也列举了多种电子元器件在电应力和环境应力等作用下的一些典型失效案例。书中还介绍了有关电镜和能谱仪的维护、保养及安装场地的选择等注意事项, 以供用户在规划和选择安装场地时参考。下篇包括第10-18章, 主要介绍了X射线能谱仪的原理、数据采集和处理及具体的应用技术, 其中包括Si (Li) 与SDD新旧两种谱仪探测芯片的基本原理, 以及能谱仪在定性、定量分析中常遇到的一些棘手问题及应对方法。最后还简略地介绍了罗兰圆波谱仪和平行光波谱仪的原理及它们各自的特点。

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