MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：18
- 题名/责任者:
- 化学清洗/《半导体器件制造技术丛书》编写组编
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,1972
- ISBN及定价:
- /CNY0.24
- 载体形态项:
- 77页:图表;19cm
- 丛编项:
- 半导体器件制造技术丛书;12
- 团体责任者:
- 半导体器件制造技术丛书编写组 编
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
- 科图法分类号:
- 73.67081
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| 73.67081/2512 | 001006418 |  密集书库
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| 73.67081/2512 | 001006419 | 密集书库
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| 73.67081/2512 | 002105678 | 密集书库
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| TN305/B263-4 | 004133250 | 密集书库
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