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- 题名/责任者:
- MEMS技术及其应用/李德胜 ... [等] 编著
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2002
- ISBN及定价:
- 7-5603-1694-8/CNY18.00
- 载体形态项:
- 305页:图;21cm
- 个人责任者:
- 李德胜 编著
- 学科主题:
- 微机电-技术
- 中图法分类号:
- TM38
- 中图法分类号:
- TH
- 一般附注:
- 国家自然科学基金资助课题 哈尔滨工业大学研究成果专著基金资助出版
- 责任者附注:
- 本书编著李德胜、王东红、孙金玮、金鹏。
- 书目附注:
- 有书目 (第298-301页)
- 提要文摘附注:
- 本书共有八章, 在概述微机电技术 (MEMS) 的发展背景、现状及应用前景的基础上, 介绍了MEMS基本理论, 随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TH/L262 | 000686680 | - |  工业技术书库
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| TH/L262 | 000686681 | - | 工业技术书库
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| TH/L262 | 000686682 | - | 工业技术书库
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| TH/L262 | 000686683 | - | 工业技术书库
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可借 |
| TH/L262 | 000686684 | - | 工业技术书库
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