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题名/责任者:

表面科学与薄膜技术基础/张永平著

出版发行项:

北京:科学出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-03-073128-9/CNY98.00

载体形态项:

184页:图;24cm

并列正题名:

Fundamentals of surface science and thin film technology

个人责任者:

张永平 著

学科主题:

金属表面处理

学科主题:

薄膜技术

中图法分类号:

TG17

中图法分类号:

TB43

提要文摘附注:

本书着重介绍表面与薄膜相关的基本概念、基本原理，帮助理解掌握薄膜技术的基本知识，为工作和科研打下良好基础。书中内容括真空物理基础、表面科学基础、薄膜物理基础、薄膜生长技术、薄膜结构、表面和薄膜分析技术，以及几种常见的薄膜材料。

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