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题名/责任者:

薄膜材料科学/(美) Milton Ohring著 刘卫国 ... [等] 译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2013.02

ISBN及定价:

978-7-118-08144-2/CNY188.00

载体形态项:

XV, 484页:图;26cm

个人责任者:

奥林 (Ohring, Milton) 著

个人次要责任者:

刘卫国 译

学科主题:

薄膜-工程材料

中图法分类号:

TB383

一般附注:

装备科技译著出版基金 西安工业大学专著出版基金资助

版本附注:

据原书第2版译出

出版发行附注:

由ELSEVIER INC授权

责任者附注:

责任者规范汉译姓: 奥林

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书分12章, 主要包括: 材料科学基础、真空科学与技术、薄膜热蒸发过程、薄膜制备的等离子体与离子束工艺、化学气相沉积、基底表现与薄膜成核、外延生长、薄膜结构等内容。

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