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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：2

题名/责任者:
光刻/上海无线电十七厂编
出版发行项:
上海:上海人民出版社,1971
ISBN及定价:
/CNY0.16
载体形态项:
72页:图表;19cm
团体责任者:
上海无线电十七厂 编
学科主题:
半导体工艺-电子束光刻
中图法分类号:
TN305.7
科图法分类号:
73.67
一般附注:
半导体器件平面工艺
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
73.67/2315Q5 001003248   密集书库     可借 密集书库
73.67/2315Q5 001003249   密集书库     可借 密集书库
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