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题名/责任者:

微机电系统设计与加工/(美) Mohamed Gad-el-Hak编 张海霞, 赵小林等译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2010

ISBN及定价:

978-7-111-28597-7 精装/CNY63.00

载体形态项:

x, 536页, [4] 页图版:图 (部分彩图);27cm

统一题名:

MEMS design and fabrication

丛编项:

国际机械工程先进技术译丛

个人责任者:

盖德 (Gad-el-Hak, Mohamed) 编

个人次要责任者:

张海霞 译

个人次要责任者:

赵小林 译

学科主题:

微电机-系统设计

学科主题:

微电机-加工

中图法分类号:

TM38

责任者附注:

责任者Gad-el-Hak规范汉译姓: 盖德

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书内容包括: MEMS中的材料, MEMS制造, LIGA及其微模压, 基于X射线的加工, EFAB技术及其应用, 单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性, 用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀, 聚合物微系统: 材料和加工, 光诊断方法考察微流道的入口长度, 应用于航空航天的微化学传感器, 恶劣环境下的MEMS器件封装技术, 纳机电系统制造技术, 分子自组装基本概念及应用。

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