MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：7
- 题名/责任者:
- 微系统设计/(美) Stephen D. Senturia著 刘泽文, 王晓红, 黄庆安等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-121-00422-4/CNY59.00
- 载体形态项:
- 453页:图;26cm
- 并列正题名:
- Microsystem design
- 丛编项:
- 国外电子与通信教材系列
- 个人责任者:
- 森特乌里亚, S. D. (Senturia, Stephen D.) 著
- 个人次要责任者:
- 刘泽文 译
- 个人次要责任者:
- 王晓红 译
- 个人次要责任者:
- 黄庆安 译
- 学科主题:
- 微电机-教材
- 学科主题:
- 微电子技术-教材
- 中图法分类号:
- TM38
- 中图法分类号:
- TN4
- 出版发行附注:
- 由Kluwer Academic Publishers授权电子出版社出版
- 责任者附注:
- 责任者Senturia规范汉泽姓: 森特乌里亚
- 书目附注:
- 有书目 (第444-453页)
- 提要文摘附注:
- 本书介绍涉及微机电系统设计的方法、理论和技术, 涉及MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟等，并辅助于实例研究。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN4/S795 | 000692768 | - |  工业技术书库
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可借 |
| TN4/S795 | 000692769 | - | 工业技术书库
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可借 |
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