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题名/责任者:

ＳＯＩ技术:21世纪的硅集成电路技术/(比利时)考林基(Colinge，J.P.)著 武国英等译

出版发行项:

北京:科学出版社,1993.12

ISBN及定价:

7-03-003757-X/CNY7.90

载体形态项:

215页;21厘米

丛编项:

微电子学系列

个人责任者:

考林基 J.P. 著

个人次要责任者:

武国英等 译

非控制主题词:

SOI技术 硅集成电路 21世纪

中图法分类号:

TN3

一般附注:

SOI(Silicon-on-Insulator)：在绝缘体上生长薄单晶硅膜。

一般附注:

书名原文：Silicon-on-Insulator Technology：Materials to VLSI。

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