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中文图书1.电子束刻蚀技术 TN405.98/B476
馆藏复本：1
可借复本：1 (美)布鲁尔(Brewer,G.R.)著
国防工业出版社 1986
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中文图书2.离子束分析 TL632/Y341
馆藏复本：1
可借复本：1 杨福家, 赵国庆主编
复旦大学出版社 1985
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中文图书3.应用电子技术资料汇编.第1辑 73.669/233
馆藏复本：5
可借复本：5 上海市科学技术交流站编
上海人民出版社 1974
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中文图书4.国外半导体电子束曝光离子注入技术动向 73.6699/2343
馆藏复本：2
可借复本：2 上海科学技术情报研究所编
上海科学技术情报研究所 1972
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