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中文图书1.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用.第2版 TN405.98/Z397B
馆藏复本:3
可借复本:3 张海洋等编著
清华大学出版社 2023
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中文图书2.折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用 TN405.98/Z897
馆藏复本:3
可借复本:3 张新宇, 谢长生著
国防工业出版社 2021
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中文图书3.计算光刻与版图优化 TN405.98/W937
馆藏复本:3
可借复本:3 韦亚一 ... [等] 著
电子工业出版社 2021
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中文图书4.国外集成电路光刻制版自动化 75.7552/2343
馆藏复本:2
可借复本:2 上海无线电七厂, 上海科学技术情报研究所编译
上海科学技术情报研究所 1977
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中文图书5.电子束刻蚀技术 TN405.98/B476
馆藏复本:1
可借复本:1 (美)布鲁尔(Brewer,G.R.)著
国防工业出版社 1986
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中文图书6.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 TN405.98/Z397
馆藏复本:2
可借复本:2 张海洋等编著
清华大学出版社 2018
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