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中文图书1.激光热敏光刻:原理与方法:principle and method TN305.7/W431
馆藏复本:3
可借复本:3 魏劲松著
清华大学出版社 2022
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中文图书2.光刻巨人:ASML崛起之路 F456.366/L424
馆藏复本:2
可借复本:2 (荷) 瑞尼·雷吉梅克著
人民邮电出版社 2020
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中文图书3.集成电路与光刻机 TN4/W874
馆藏复本:3
可借复本:3 王向朝, 戴凤钊等著
科学出版社 2020
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