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中文图书1.微机电系统工程基础 TH-39/J918
馆藏复本:2
可借复本:2 蒋永刚主编
北京航空航天大学出版社 2023
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中文图书2.MEMS/NEMS谐振器技术 TN629.1/Z854
馆藏复本:2
可借复本:2 张文明, 胡开明著
科学出版社 2023
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中文图书3.新型微机电系统与器件 TH-39/M954
馆藏复本:3
可借复本:3 主编马宗敏
西安电子科技大学出版社 2022
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中文图书4.硅基MEMS制造技术 TH-39/W923
馆藏复本:2
可借复本:2 王跃林, 吴国强等编著
电子工业出版社 2022.04
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中文图书5.机电与微机电系统设计 TH-39/N859
馆藏复本:3
可借复本:3 聂伟荣, 曹云, 陈荷娟主编
南京大学出版社 2021
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中文图书6.微纳机电系统与微纳传感器技术 TH-39/G438
馆藏复本:3
可借复本:3 国家自然科学基金委员会, 中国科学院
科学出版社 2020
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中文图书7.微机电系统 (MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用.第5版 TH-39/Q753E
馆藏复本:2
可借复本:2 (美) 维卡斯·乔社里, (加) 克日什托夫·印纽斯基著
机械工业出版社 2020
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中文图书8.MEMS系统级建模 TH-39/B893
馆藏复本:3
可借复本:3 (德) 塔玛拉·贝克唐德, 加布里尔·施拉格, 冯丽红著
东南大学出版社 2020
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中文图书9.基于MEMS技术的热梯度器件研究 TH-39/N428
馆藏复本:5
可借复本:5 聂金泉著
中国水利水电出版社 2019
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