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中文图书1.微机电系统 (MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用.第5版 TH-39/Q753E
馆藏复本:2
可借复本:2 (美) 维卡斯·乔社里, (加) 克日什托夫·印纽斯基著
机械工业出版社 2020
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中文图书2.压电微机电谐振器 TN629.1/B353
馆藏复本:2
可借复本:2 (美) 哈梅特·布格拉, 詹卢卡·皮亚扎主编
机械工业出版社 2020
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中文图书3.纳机电系统 TM7/T477
馆藏复本:3
可借复本:3 (法) 劳伦·特拉夫格, 朱利安·阿尔卡莫内著
机械工业出版社 2018
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