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中文图书1.微纳制造科学与技术:从基本原理到工程应用 TB383/C686
馆藏复本：2
可借复本：0 陈蓉 ... [等] 编著
华中科技大学出版社 2024
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中文图书2.射频微机电系统的理论、设计、制备及应用 TN4/Z396
馆藏复本：3
可借复本：3 张海霞, 缪旻, 方东明著
科学出版社 2014
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中文图书3.碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法 TH744/L767
馆藏复本：3
可借复本：3 李圣怡 ... 等著
科学出版社 2014
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中文图书4.微机电系统 (MEMS) 制造技术 TM380.5/Y869
馆藏复本：3
可借复本：3 苑伟政, 乔大勇著
科学出版社 2014
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中文图书5.微纳制造.影印版 TB383/J466
馆藏复本：3
可借复本：3 Mark J. Jackson [编著]
科学出版社 2007.1
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