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• 200 1_ |a 射频微机电系统的理论、设计、制备及应用 |A she pin wei ji dian xi tong de li lun she ji zhi bei ji ying yong |f 张海霞, 缪旻, 方东明著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2014

• 215 __ |a 416页 |c 图 |d 25cm

• 225 2_ |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书 |A wei na zhi zao de ji chu yan jiu xue shu zhu zuo cong shu

• 320 __ |a 有书目和索引

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 射频系统 |x 研究

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 张海霞 |A zhang hai xia |4 著

• 701 _0 |a 缪旻 |A miao min |4 著

• 701 _0 |a 方东明 |A fang dong ming |4 著

• 801 _0 |a CN |b TL |c 20131218

• 905 __ |a AUSTL |d TN4/Z396