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• 200 1_ |a 等离子体与成膜基础 |A deng li zi ti yu cheng mo ji chu |f (日)小沼光晴著 |g 张光华编译

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 1994

• 215 __ |a 238页 |c 图 |d 19cm

• 304 __ |a 小沼光晴,日本著名学者、博士,德国斯图加特Max-Planck学会固体研究所任职

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 分:等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章。

• 300 __ |a 各章末均附有参考文献

• 314 __ |a 小沼光晴，日本著名学者，从事等离子体CVD和固体研究的专家。

• 606 0_ |a 等离子体物理学∶薄膜物理学 |A Deng Li Zi Ti Wu Li Xue∶Bo Mo Wu Li Xue

• 606 0_ |a 薄膜物理学∶等离子体物理学 |A Bo Mo Wu Li Xue∶Deng Li Zi Ti Wu Li Xue

• 690 __ |a O53 |v 3

• 690 __ |a O484 |v 3

• 692 __ |a 53.815

• 701 _0 |a 小沼光晴 |A Xiaozhao Guangqing |4 著 |3 CAL n2004440249# |7 jt0yjt0y |7 ec0yec0y

• 702 _0 |a 张光华 |A Zhang Guanghua |c (半导体技术) |4 编译 |3 CAL n2004452457# |7 jt0yjt0y |7 ec0yec0y

• 801 _2 |a CN |b PUL

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 19931213

• 905 __ |a AUSTL |d O53/X978

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