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• 200 1_ |a Microsensors, MEMS, and Smart Devices |A Microsensors, MEMS, and Smart Devices |d = 微传感器、微机电系统和灵巧器件 |f 加德纳, 瓦拉旦, 韦德尔卡姆著 |z chi

• 205 __ |a 影印本

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2004

• 215 __ |a 503页 |c 图 |d 23cm

• 225 2_ |a 国际知名大学原版教材 |A guo ji zhi ming da xue yuan ban jiao cai |i 信息技术学科与电气工程学科系列

• 330 __ |a 本书主要论述微传感器及微机电系统的结构、原理、特性、制作方法与工艺技术。

• 410 _0 |1 2001 |a 国际知名大学原版教材

• 410 _0 |1 2001 |a 信息技术学科与电气工程学科系列

• 510 1_ |a 微传感器、微机电系统和灵巧器件 |z chi

• 606 0_ |a 微型 |A wei xing |x 传感器 |x 高等学校 |j 教材 |x 英文

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 高等学校 |j 教材 |x 英文

• 690 __ |a TP212 |v 4

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _1 |a 加德纳, |A jia de na |b J.W. |g (Gardner, J.W.) |4 著

• 701 _1 |a 瓦拉旦, |A wa la dan |b V.K. |g (Varadan, V.K.) |4 著

• 701 _1 |a 韦德尔卡姆, |A wei de er ka mu |b O.O. |g (Awadelkarim, O.O.) |4 著

• 801 _0 |a CN |b 三新书业 |c 20040402

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20060404

• 905 __ |a AUSTL |d TP212/J255