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• 010 __ |a 7-121-01987-6 |d CNY68.00

• 100 __ |a 20051213d2005 ekmy0chiy0121 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 硅超大规模集成电路工艺技术 |A Gui Chao Da Gui Mo Ji Cheng Dian Lu Gong Yi Ji Shu |e 理论、实践与模型 |d = Silicon VLSI technology |e Fundamentals, practice and modeling |f (美) James D. Plummer, Michael D. Deal, Peter B. Griffin著 |g 严利人, 王玉东, 熊小义等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2005

• 215 __ |a 618页 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列 |A Guo Wai Dian Zi Yu Tong Xin Jiao Cai Xi Lie

• 306 __ |a 本书中文简体字翻译版由电子工业出版社和Pearson Education培生教育出版亚洲有限公司合作出版

• 314 __ |a 责任者Plummer规范汉译姓: 普卢默; 责任者Deal规范汉译姓: 迪尔; 责任者Griffin规范汉译姓: 格里芬

• 330 __ |a 本书详细介绍了与硅超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术, 而且还着重讲解了这些工艺技术背后的科学原理, 特别是对于每一步单项工艺技术, 书中通过工艺模型和工艺模拟软件, 非常形象直观地给出了实际工艺过程的物理图像。

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列

• 510 1_ |a Silicon VLSI technology |z eng

• 517 1_ |a 理论实践与模型 |A Li Lun Shi Jian Yu Mo Xing

• 606 0_ |a 硅化物 |x 应用 |x 超大规模集成电路 |j 教材

• 690 __ |a TN47 |v 4

• 701 _1 |a 普卢默, |A Pu Lu Mo , |b J. D. |g (Plummer, James D.) |4 著

• 701 _1 |a 迪尔, |A Di Er , |b M. D. |g (Deal, Michael D.) |4 著

• 701 _1 |a 格里芬, |A Ge Li Fen , |b P. B. |g (Griffin, Peter B.) |4 著

• 702 _0 |a 严利人 |A Yan Li Ren |4 译

• 702 _0 |a 王玉东 |A Wang Yu Dong |4 译

• 702 _0 |a 熊小义 |A Xiong Xiao Yi |4 译

• 801 _0 |a CN |b 三新书业 |c 20051213

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20060327

• 905 __ |a AUSTL |d TN47/P484