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• 200 1_ |a 微光机电系统 |A Wei Guang Ji Dian Xi Tong |f (日)泽田廉士, 羽根一博, 日暮荣治著 |g 李元燮译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2005

• 215 __ |a 347页 |d 24cm

• 320 __ |a 有书目 (第329-333页)

• 330 __ |a 本书由三篇组成, 第一篇重点介绍微光机电系统在各领域中的应用; 第二篇是微光机电系统光学; 第三篇主要介绍材料、制造、封装等。

• 606 0_ |a 光电子技术 |x 机电一体化 |x 研究

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 机电一体化 |x 研究

• 690 __ |a TN2 |v 4

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 _0 |a 泽田廉士 |A Ze Tian Lian Shi |4 著

• 701 _0 |a 羽根一博 |A Yu Gen Yi Bo |4 著

• 701 _0 |a 日暮荣治 |A Ri Mu Rong Zhi |4 著

• 801 _0 |a CN |b 三新书业 |c 20050112

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20060412

• 905 __ |a AUSTL |d TN2/Z783