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• 010 __ |a 978-7-5612-3030-5 |d CNY28.00

• 100 __ |a 20110620d2011 em y0chiy50 ea

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• 102 __ |a CN |b 610000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统 |A wei ji dian xi tong |d = Micro electromechanical systems |f 苑伟政, 乔大勇编著 |z eng

• 210 __ |a 西安 |c 西北工业大学出版社 |d 2011.03

• 215 __ |a 207页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 普通高等教育“十一五”国家级规划教材

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共分六章，分别介绍了MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。

• 333 __ |a 可作为高年级本科生和研究生学习微机电系统的教材使用，还可作为工程技术等专业人员的参考手册。

• 510 1_ |a Micro electromechanical systems |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 苑伟政 |A yuan wei zheng |4 编著

• 701 _0 |a 乔大勇 |A qiao da yong |4 编著

• 801 _0 |a CN |b AUSTL |c 20111219

• 905 __ |a AUSTL |d TN4/Y869