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• 010 __ |a 7-04-018299-8 |d CNY48.00

• 100 __ |a 20070918d2006 em y0chiy0120 ea

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• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 半导体集成电路制造技术 |A Ban Dao Ti Ji Cheng Dian Lu Zhi Zao Ji Shu |d Microfabrication technology of semiconductor integrated circuits |f 张亚非等著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 高等教育出版社 |d 2006

• 215 __ |a 390页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 长江学者论丛 |A Chang Jiang Xue Zhe Lun Cong

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要讲述半导体集成电路的制造技术、既有基本原理和工艺技术的阐述。

• 410 _0 |1 2001 |a 长江学者论丛

• 510 1_ |a Microfabrication technology of semiconductor integrated circuits |z eng

• 606 0_ |a 半导体集成电路 |A Ban Dao Ti Ji Cheng Dian Lu |x 集成电路工艺 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN430.5 |v 4

• 701 _0 |a 张亚非 |A Zhang Ya Fei |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 安徽新华 |c 20070918

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20071025

• 905 __ |a AUSTL |d TN430.5/Z917