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• 200 1_ |a RF MEMS器件设计、加工和应用 |A RF MEMS qi jian she ji 、 jia gong he ying yong |d = RF MEMS devices design, fabrication, and application |f 朱健编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2012

• 215 __ |a XXIII, 272页, 20页图版 |c 图 (部分彩图) |d 24cm

• 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |A wei mi na mi ji shu cong shu |i MEMS与微系统系列

• 300 __ |a 国家科学技术学术著作出版基金资助出版

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共分为11章, 主要内容包括: RF MEMS设计技术 ; RF MEMS工艺技术 ; RF MEMS开关 ; RF MEMS电容和电感 ; RF MEMS移相器 ; RF MEMS谐振器等。

• 410 _0 |1 2001 |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列

• 510 1_ |a RF MEMS devices design, fabrication, and application |z eng

• 606 0_ |a 微电子元件 |A wei dian zi yuan jian

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 朱健 |A zhu jian |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20130726

• 905 __ |a AUSTL |d TN4/Z419