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• 000 01571nam 2200313 450

• 001 0000335597

• 005 20200914091800.0

• 010 __ |a 978-7-118-11947-3 |d CNY188.00

• 100 __ |a 20200427d2019 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a afk a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS技术前沿与应用发展 |A MEMSji shu qian yan yu ying yong fa zhan |d = The frontier and application development of MEMS technology |f 尤政, 赵嘉昊编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2019

• 215 __ |a xiv, 348页, [8] 页图版 |c 图 (部分彩图) |d 24cm

• 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |A wei mi na mi ji shu cong shu |i MEMS与微系统系列

• 300 __ |a “十二五”国家重点图书出版规划项目

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书是一部深入论述微机电系统 (MEMS) 技术发展前沿与应用的专著, 共分为12章。前3章从MEMS的基础概念、基本方法破题, 围绕MEMS的制造、集成、测试技术加以展开, 从硅/非硅微加工到封装、集成与测试技术, 并从军事航天的应用领域对MEMS制造与集成技术进行了分析及讨论; 第4章至第10章详细介绍了惯性MEMS技术、射频MEMS技术、微能源MEMS技术、生物MEMS技术、可穿戴/植入MEMS技术、空间MEMS技术以及极端环境应用的MEMS技术; 第11章和第12章分别讨论了MEMS技术的新原理新效应, 以及MEMS技术的产业化发展现状。

• 410 _0 |1 2001 |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列

• 410 _0 |1 2001 |a MEMS与微系统系列

• 510 1_ |a Frontier and application development of MEMS technology |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 尤政 |A you zheng |4 编著

• 701 _0 |a 赵嘉昊 |A zhao jia hao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20200427

• 905 __ |a AUSTL |d TM38/Y976