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• 200 1_ |a 微纳制造 |A Wei Na Zhi Zao |d =Micro and nanomanufacturing |f Mark J. Jackson [编著] |z chi

• 205 __ |a 影印版

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2007.1

• 215 __ |a 699页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳技术著作丛书 |A wei na ji shu zhu zuo cong shu

• 306 __ |a 本书影印版由Springer-Verlag(Berlin/Heidelberg/New York)独家出版发行

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识, 以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术, 包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳技术著作丛书

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 加工工艺 |x 英文

• 690 __ |a TB383 |v 4

• 701 _1 |a 杰克逊 |A jie ke xun |g (Jackson, M. J.) |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 三新书业 |c 20070828

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20071009

• 905 __ |a AUSTL |d TB383/J466