机读格式显示(MARC)

• 000 00850nam0 2200253 450

• 001 0000312998

• 005 20201114094100.0

• 091 __ |a 151634.364 |d CNY0.60

• 099 __ |a CAL 012000153436

• 100 __ |a 19990520d1977 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 310000

• 105 __ |a y z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 国外集成电路光刻制版自动化 |A guo wai ji cheng dian lu guang ke zhi ban zi dong hua |f 上海市半导体器件科技情报协作网编

• 210 __ |a 上海 |c 上海科学科技情报研究所 |d 1977

• 215 __ |a 68页 |d 26cm

• 606 0_ |a 半导体工艺 |A Ban Dao Ti Gong Yi |x 电子束光刻

• 690 __ |a TN305.7 |v 3

• 692 __ |a 73.7552 |v 3

• 711 02 |a 上海市半导体器件科技情报协作网 |A Shanghai shi ban dao ti qi jian ke ji qing bao xie zuo wang |4 编 |3 CAL n2005295033# |7 jt0yjt0y |7 ec0yec0y

• 801 _0 |a CN |b PUL

• 905 __ |a AUSTL |d 73.7552/2343

• 998 __ |a PUL