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• 200 1_ |a 激光工艺与微电子技术 |A ji guang gong yi yu wei dian zi ji shu |f В·П·魏柯，С.М.麦捷夫著 |g 吴国安，邓存熙译

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 1997

• 215 __ |a 430页 |d 20cm

• 300 __ |a 译自:Лазерные технологиив микро электронике

• 320 __ |a 书目：第411-430页

• 510 1_ |a Лазерные технологиив микро электронике

• 606 0_ |a 激光光学加工技术 |A Ji Guang Guang Xue Jia Gong Ji Shu |x 应用 |x 微电子技术

• 690 __ |a TN405

• 692 __ |a 73.75

• 692 __ |a TN405 |v 3

• 701 _1 |a 魏柯 |A Wei ke |g (Вейко, В. П.) |4 编著 |3 CAL n2004534126# |7 jt0yjt0y |7 ec0yec0y

• 701 _1 |a 麦捷夫 |A Maijiefu |g (Метев, С. М.) |4 编著 |3 CAL n2004534569# |7 jt0yjt0y |7 ec0yec0y

• 702 _0 |a 吴国安 |A Wu Guoan |c (微电子技术) |3 CAL n2004402149# |7 jt0yjt0y |7 ec0yec0y

• 702 _0 |a 邓存熙 |A Deng Cunxi |c (物理学) |4 译 |3 CAL n2004471082# |7 jt0yjt0y |7 ec0yec0y

• 801 _0 |a CN |b ZSU |c 19990422

• 905 __ |a AUSTL |d TN405/W446

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