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• 200 1_ |a 微电子生产工艺实用手册 |f 王家源，刘长恩主编 |A wei dian zi sheng chan gong yi shi yong shou ce

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 1992.6

• 215 __ |a 437页 |d 21厘米

• 610 1_ |a 微电子 |A Wei Dian Zi

• 610 1_ |a 生产工艺 |A Sheng Chan Gong Yi

• 610 1_ |a 手册 |A Shou Ce

• 690 __ |a TN405-62

• 701 _0 |a 王家源 |A Wang Jia Yuan |4 主编

• 701 _0 |a 刘长恩 |A Liu Chang En |4 主编

• 801 _0 |a CN |b AUSTL |c 20220916

• 905 __ |a AUSTL |d TN405-62/W437