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• 000 00718nam0 2200253 450

• 001 0000051628

• 005 20201225161300.0

• 010 __ |d CNY2.15

• 091 __ |a 15034·2420

• 100 __ |a 20020902d2001 mk y0chiy50 eb

• 101 0_ |a chi

• 105 __ |a y 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 超大规模集成电路工艺技术 |A chao da gui mo ji cheng dian lu gong yi ji shu |f (日)西泽润一著 |g 秦勋，韩伟清译

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 1983.5

• 215 __ |a 327页 |d 26厘米

• 690 __ |a TN47 |v 5

• 692 __ |a 73.7551

• 701 _0 |a 西泽润一 |A Xi Ze Run Yi |4 著

• 702 _0 |a 秦勋 |A Qin Xun |4 译

• 702 _0 |a 韩伟清 |A Han Wei Qing |4 译

• 801 _0 |a CN |b AUSTL |c 20200911

• 905 __ |a AUSTL |d TN47/X959

• 905 __ |a AUSTL |d 73.7551/1331