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• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS技术及其应用 |A MEMS ji shu ji qi ying yong |f 李德胜 ... [等] 编著

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工业大学出版社 |d 2002

• 215 __ |a 305页 |c 图 |d 21cm

• 300 __ |a 国家自然科学基金资助课题 哈尔滨工业大学研究成果专著基金资助出版

• 314 __ |a 本书编著李德胜、王东红、孙金玮、金鹏。

• 320 __ |a 有书目 (第298-301页)

• 330 __ |a 本书共有八章, 在概述微机电技术 (MEMS) 的发展背景、现状及应用前景的基础上, 介绍了MEMS基本理论, 随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。

• 606 0_ |a 微机电 |A wei dian ji |x 技术

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 690 __ |a TH |v 4

• 701 _0 |a 李德胜 |A li de sheng |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 三新书业 |c 20050401

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20051229

• 905 __ |a AUSTL |d TH/L262