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• 200 1_ |a 半导体器件制造工艺 |A ban dao ti qi jian zhi zao gong yi |f 夏海良，张安康编

• 210 __ |a 上海 |c 上海科学技术出版社 |d 1986.4

• 215 __ |a 175页 |d 26厘米

• 692 __ |a 73.7315

• 701 _0 |a 夏海良 |A Xia Hai Liang |4 编

• 701 _0 |a 张安康 |A Zhang An Kang

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