机读格式显示(MARC)
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- 200 1_ |a 抗蚀剂及其微细加工技术 |A kang shi ji ji qi wei xi jia gong ji shu |f 顾振军,孙猛主编
- 210 __ |a 上海 |c 上海交通大学出版社 |d 1989.3
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