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• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 1986

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• 606 0_ |a 电子束光刻 |A Dian Zi Shu Guang Ke

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• 701 _1 |a 布鲁尔 |A Buluer |g (Brewer, G. R.), |f 1922- |3 CAL n2004516248# |7 jt0yjt0y |7 ec0yec0y

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