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• 000 01248nas0 2200409 450

• 001 0000125183

• 005 20200618134900.0

• 091 __ |a 43-1140

• 099 __ |a CAL 111999087404

• 100 __ |a 20050913a19839999m y0chia50 eb

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 430000

• 106 __ |a r

• 110 __ |a ahazz 0yd0

• 200 1_ |a 微细加工技术 |A WEI XI JIA GONG JI SHU |d = Microfabrication technology |z eng |f 该刊编委会

• 207 _0 |a 创刊号(1983,9)=[总1];1983,no.2(1983,12)～=总2～

• 210 __ |a 长沙 |b 湖南省长沙市96号信箱301分箱(邮码410111) |c 该刊编辑部 |d 1983～

• 215 __ |a v. |d 26cm

• 300 __ |a 根据1983, no.2 著录

• 326 __ |a 季刊

• 327 0_ |a 论文及研制报告 |a 译文 |a 综述

• 510 1_ |a Microfabrication technology |z eng

• 606 0_ |a 电子技术 |A Dian Zi Ji Shu

• 676 __ |a 621.38152 |v 19

• 690 __ |a TN4 |v 1990

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 692 __ |a 73.7

• 701 _0 |a 孙洪涛 |A SUN HONG TAO |4 主编

• 711 02 |a 机械电子工业部长沙半导体工艺设备研究所 |A JI XIE DIAN ZI GONG YE BU CHANG SHA BAN DAO TI GONG YI SHE BEI YAN JIU SUO |4 主办

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 19930605

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20051013

• 905 __ |a AUSTL |d TN4/42

• 920 __ |a 242010 |z 2

• 920 __ |a 231010 |z 2

• 920 __ |a 214051 |z 2

• 920 __ |a 244010 |z 2

• 998 __ |a PUL