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• 200 1_ |a 集成电路制造技术 |e 原理与实践 |A ji cheng dian lu zhi zao ji shu |f 庄同曾主编

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 1987.10

• 215 __ |a 726页 |d 26厘米

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• 701 _0 |a 庄同曾 |A Zhuang Tong Zeng |4 主编

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