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• 000 01471nam 2200385 450

• 001 0000358388

• 005 20201019085400.0

• 010 __ |a 7-03-007260-X |b 精装 |d CNY85.00

• 099 __ |a CAL 012000557151

• 100 __ |a 19990722d1999 fkmy0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a y z 001yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 半导体工艺 |A ban dao ti gong yi |f (美)K.A.杰克逊(Kenneth A.Jackson)主编 |g 屠海令等译校

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 1999

• 215 __ |a 627页 |d 26cm

• 225 2_ |a 材料科学与技术丛书 |A Cai Liao Ke Xue Yu Ji Shu Cong Shu |d Materials science and technology |v 第16卷 |f R.W.卡恩, P.哈森, E.J.克雷默主编

• 300 __ |a 译自: Processing of semiconductors

• 300 __ |a 据德国VCH出版社1996年英文版译出 。

• 320 __ |a 有索引: 第570-627页。

• 410 _0 |1 2001 |a 材料科学与技术丛书 |v 第16卷 |1 701 1 |a 卡恩, |b R.W.主编 |1 701 1 |a 哈森, |b P.主编 |1 701 1 |a 克雷默, |b E.J.主编

• 510 1_ |a Processing of semiconductors

• 606 0_ |a 材料科学 |A Cai Liao Ke Xue |j 丛书

• 606 0_ |a 半导体工艺 |A Ban Dao Ti Gong Yi |x 研究

• 690 __ |a TB3-51 |v 4

• 690 __ |a TN305 |v 4

• 692 __ |a 71.22081 |v 3

• 692 __ |a 73.7315 |v 3

• 701 _1 |a 杰克逊 |A Jiekexun |g (Jackson, Kenneth A.) |4 主编 |3 CAL n2004521232# |7 jt0yjt0y |7 ec0yec0y

• 701 _1 |a Jackson |A jackson |b Kenneth A. |4 主编

• 702 _0 |a 屠海令 |A Tu Hailing |c (翻译), |f 1946- |4 译校 |3 CAL n2004442445# |7 jt0yjt0y |7 ec0yec0y

• 801 _0 |a CN |b WUL

• 905 __ |a AUSTL |d TB3-51/K285/16

• 998 __ |a WUL