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• 010 __ |a 978-7-111-25665-6 |d CNY60.00

• 099 __ |a CAL 012009018403

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 半导体制造与过程控制基础 |A Ban Dao Ti Zhi Zao Yu Guo Cheng Kong Zhi Ji Chu |f (美) Gary S. May, Costas J. Spanos著 |g 李虹, 肖春虹, 马俊婷译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2009

• 215 __ |a XI, 377页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 国际信息工程先进技术译丛 |A Guo Ji Xin Xi Gong Cheng Xian Jin Ji Shu Yi Cong

• 312 __ |a 英语并列题名取自封面

• 314 __ |a 责任者的规范中译姓 : 梅(May); 斯帕诺斯(Spanos)

• 410 _0 |1 2001 |a 国际信息工程先进技术译丛

• 500 10 |a Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control |m Chinese

• 606 0_ |a 半导体工艺

• 690 __ |a TN305 |v 4

• 701 _1 |a 梅, |A Mei |g (May, Gary S.) |4 著

• 701 _1 |a 斯帕诺斯, |A Si Pa Nuo Si |g (Spanos, Coatas J.) |4 著

• 702 _0 |a 李虹 |A Li Hong |4 译

• 702 _0 |a 肖春虹 |A Xiao Chun Hong |4 译

• 702 _0 |a 马俊婷 |A Ma Jun Ting |4 译

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20090227

• 905 __ |a AUSTL |d TN305/M100