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• 010 __ |a 978-7-111-64958-8 |d CNY139.00

• 099 __ |a CAL 012020180081

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• 200 1_ |a 微机电系统 (MEMS) |A wei ji dian xi tong (MEMS) |e 元器件、电路及系统集成技术和应用 |f (美) 维卡斯·乔社里, (加) 克日什托夫·印纽斯基著 |g 周海宪, 程云芳, 周华伟等译

• 205 __ |a 第5版

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2020

• 215 __ |a XXIII, 383页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 |A wei na ji dian xi tong xian jin ji shu yan jiu yu ying yong cong shu

• 306 __ |a 本书由Taylor & Francis Group LLC出版公司授权出版

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a "本书汇集了微机电技术领域内的多位专家，力图解读过去十多年MEMS行业的爆炸式增长，以及在各种科学技术领域的广泛应用。本书由两部分十九章组成，既阐述了MEMS的理论基础和技术基础，同时也介绍了MEMS器件及系统的发展，并详细分析了相关系统的集成和在各学科领域的应用实例。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

• 517 1_ |a 元器件、电路及系统集成技术和应用 |A yuan qi jian、dian lu ji xi tong ji cheng ji shu he ying yong

• 606 0_ |a 微机电系统 |A wei ji dian xi tong |x 研究

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _1 |a 乔社里 |A qiao she li |g (Choudhary, Vikas) |4 著

• 701 _1 |a 印纽斯基 |A yin niu si ji |g (Iniewski, Krzysztof) |4 著

• 702 _0 |a 周海宪 |A zhou hai xian |4 译

• 702 _0 |a 程云芳 |A cheng yun fang |4 译

• 702 _0 |a 周华伟 |A zhou hua wei |4 译

• 801 _0 |a CN |b SEU |c 20200608

• 905 __ |a AUSTL |d TH-39/Q753E