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• 010 __ |a 978-7-111-45837-1 |d CNY95.00

• 099 __ |a CAL 012014103289

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微系统光学检测技术 |A Wei Xi Tong Guang Xue Jian Ce Ji Shu |f (德) 伏尔夫岗·奥斯腾主编 |g 王伯雄等译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2014

• 215 __ |a XVI, 442页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 国际制造业先进技术译丛 |A Guo Ji Zhi Zao Ye Xian Jin Ji Shu Yi Cong

• 312 __ |a 英文并列题名取自封面

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 微系统的尺度小，材料组合性强，功能多，对它的测量与检测构成了该领域新的挑战。本书内容丰富，覆盖面广，汇聚了各国知名大学共28位作者的卓越成果。书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术，主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术，同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。

• 410 _0 |1 2001 |a 国际制造业先进技术译丛

• 510 1_ |a Optical inspection of microsystems |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 光学测量

• 690 __ |a TB96 |v 5

• 701 _1 |a 奥斯腾 |A Ao Si Teng |g (Osten, Wolfgang) |4 主编

• 702 _0 |a 王伯雄 |A Wang Bo Xiong |4 译

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20140911

• 905 __ |a AUSTL |d TB96/A733