机读格式显示(MARC)

• 000 01339nam 2200301 450

• 001 0000470045

• 005 20240510085200.0

• 010 __ |a 978-7-302-60745-8 |b 精装 |d CNY129.00

• 099 __ |a CAL 012022120099

• 100 __ |a 20221202d2022 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 001yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 激光热敏光刻 |A ji guang re min guang ke |e 原理与方法 |d = Laser thermo-sensitive lithography |e principle and method |f 魏劲松著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2022

• 215 __ |a xi, 219页 |c 图 (部分彩图) |d 25cm

• 225 2_ |a 变革性光科学与技术丛书 |A bian ge xing guang ke xue yu ji shu cong shu

• 300 __ |a “十四五”时期国家重点出版物出版专项规划·重大出版工程规划项目 国家出版基金项目

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 本书首先对目前各种光刻技术的原理、方法和特点进行描述与分析比较；然后阐述激光热敏光刻的物理过程、仪器系统、光刻策略、用于超越光斑尺寸的纳米光刻、跨尺度光刻、宽波段光刻、分辨率极限光刻、灰度图形光刻，以及图形转移的方法和相应的实验结果及应用事例。

• 410 _0 |1 2001 |a 变革性光科学与技术丛书

• 510 1_ |a Laser thermo-sensitive lithography |e principle and method |z eng

• 606 0_ |a 激光技术 |A ji guang ji shu |x 应用 |x 光刻设备 |x 研究

• 690 __ |a TN305.7 |v 5

• 701 _0 |a 魏劲松 |A wei jin song |4 著

• 801 _0 |a CN |b XJT |c 20221202

• 905 __ |a AUSTL |d TN305.7/W431