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• 000 01846nam0 2200325 450

• 001 0000232046

• 005 20150413101300.0

• 010 __ |a 978-7-302-33485-9 |d CNY49.00

• 099 __ |a CAL 012014007187

• 100 __ |a 20140115d2013 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统和微结构及其在航天中的应用 |A wei ji dian xi tong he wei jie gou ji qi zai hang tian zhong de ying yong |f (美) 罗伯特·奥西安德, M. 安·加里森·达林, 约翰·L. 钱皮恩著 |d = MEMS and microstructures in aerospace applications |f Robert Osiander, M. Ann Garrison Darrin, John L. Champion |g 尤政译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2013

• 215 __ |a 17, 247页 |c 图 |d 26cm

• 306 __ |a 由Taylor & Francis出版集团下, CRC出版公司授权出版 本书限中国大陆发行

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共16章，主要内容包括：概论，微机电系统技术在航天任务中的应用前景，MEMS加工技术，空间环境因素对MEMS技术的影响，空间辐射影响和微机电系统，MEMS技术在空间系统的应用，微加工技术在科学仪器方面的应用，微机电系统在航天器通信中的应用，航天器热控制中的微系统，航天器制导、导航和控制中的微系统，微推进技术，空间应用的MEMS封装技术，关键性空间应用的处理与污染控制考虑，MEMS应用的材料选择，基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试，航天微机电系统与微结构的保障方法等。

• 500 10 |a MEMS and microstructures in aerospace applications |A Mems And Microstructures In Aerospace Applications |m Chinese

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 应用 |x 航天 |x 研究

• 606 0_ |a 微型 |A wei xing |x 机械元件 |x 应用 |x 航天 |x 研究

• 690 __ |a V4-05 |v 5

• 701 _1 |a 奥西安德 |A ao xi an de |g (Osiander, Robert) |4 著

• 701 _1 |a 达林 |A da lin |g (Darrin, M. Ann Garrison) |4 著

• 701 _1 |a 钱皮恩 |A qian pi en |g (Champion, John L.) |4 著

• 702 _0 |a 尤政 |A you zheng |4 译

• 801 _0 |a CN |b ZJU |c 20140115

• 905 __ |a AUSTL |d V4-05/A871