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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 软X射线与极紫外辐射的原理和应用 |A ruanX she xian yu ji zi wai fu she de yuan li he ying yong |f (美) D. 阿特伍德著 |g 张杰等译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2003

• 215 __ |a 458页 |c 图 |d 24cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性, 讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用, 并提供大量参考资料进行辅助讲述。

• 606 0_ |a X射线 |A X she xian |x 研究

• 606 0_ |a 紫外辐射 |A zi wai fu she |x 研究

• 690 __ |a O434 |v 4

• 701 _1 |a 阿特伍德, |A a te wu de |b D. |g (Attwood, David) |4 著

• 702 _0 |a 张杰 |A zhang jie |4 译

• 801 _0 |a CN |b 三新书业 |c 20060310

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20060403

• 905 __ |a AUSTL |d O434/A795