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• 010 __ |a 978-7-302-53663-5 |d CNY79.00

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• 200 1_ |a 晶圆制造中的并行机调度 |A jing yuan zhi zao zhong de bing xing ji diao du |f 张洁, 张朋著

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2019

• 215 __ |a x, 241页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 排序与调度丛书 |A pai xu yu diao du cong shu

• 300 __ |a “十三五”国家重点图书出版规划项目

• 314 __ |a 张洁, 女, 东华大学机械工程学院院长、教授、博士生导师。中国科协智能制造学会联合体专家委员会委员、中国人工智能学会智能制造专业委员会副主任等。张朋, 男, 东华大学机械工程学院智能制造研究所讲师。2011年于华中科技大学获学土学位, 2019年于上海交通大学获得博士学位。

• 320 __ |a 有书目 (第227-233页) 和索引

• 330 __ |a 本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上, 分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法, 以及原型系统的开发和应用。

• 410 _0 |1 2001 |a 排序与调度丛书

• 606 0_ |a 半导体工艺 |A ban dao ti gong yi |x 自动化系统 |x 物料输送系统 |x 并行控制 |x 研究

• 690 __ |a TN305 |v 5

• 701 _0 |a 张洁 |A zhang jie |4 著

• 701 _0 |a 张朋 |A zhang peng |4 著

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20191219

• 905 __ |a AUSTL |d TN305/Z419-3