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• 200 1_ |a 微细加工与微纳加工技术及应用 |A wei xi jia gong yu wei na jia gong ji shu ji ying yong |d = Micro machining and micro-nano machining technologies and applications |f 赵波, 李伯民, 李清等编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2021

• 215 __ |a 214页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目 (第214页)

• 330 __ |a 本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书介绍了微切削加工技术, 微细电加工技术, 激光的微纳米加工技术, 面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术, 纳米机械加工原理、方法与实现 ; 还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。本书内容丰富、语言精练, 具有较强的实践指导意义和实用价值。

• 510 1_ |a Micro machining and micro-nano machining technologies and applications |z eng

• 606 0_ |a 特种加工 |A te zhong jia gong |x 技术

• 690 __ |a TG66 |v 5

• 701 _0 |a 赵波 |A zhao bo |4 编著

• 701 _0 |a 李伯民 |A li bo min |4 编著

• 701 _0 |a 李清 |A li qing |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20201214

• 905 __ |a AUSTL |d TG66/Z156