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• 010 __ |a 978-7-5606-6530-6 |d CNY49.00

• 099 __ |a CAL 012023004764

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• 200 1_ |a 新型微机电系统与器件 |A xin xing wei ji dian xi tong yu qi jian |f 主编马宗敏

• 210 __ |a 西安 |c 西安电子科技大学出版社 |d 2022

• 215 __ |a 312页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 高等学校微电子类专业系列教材 |A gao deng xue xiao wei dian zi lei zhuan ye xi lie jiao cai

• 312 __ |a 英文题名取自封面

• 314 __ |a 马宗敏, 中北大学教授, 博士生导师, 中国仪器仪表学会量子传感与精密测量分会常务理事。

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统, 全书共分七章, 主要内容包括: 近年来微机电系统的发展, MEMS惯性器件及系统的原理、工艺、最新发展, 回音壁模式微腔器件及系统, 典型水声传感器件及系统, 典型高温压力传感器件及系统, 最新的量子传感器件及系统, 柔性传感器件及系统。

• 410 _0 |1 2001 |a 高等学校微电子类专业系列教材

• 510 1_ |a New micro-electro-mechanicalsystems and devices |z eng

• 517 1_ |a 微机电系统与器件 |A Wei Ji Dian Xi Tong Yu Qi Jian

• 606 0_ |a 微机电系统 |A wei ji dian xi tong |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |a 马宗敏 |A ma zong min |4 主编

• 801 _0 |a CN |b AUSTL |c 20240416

• 905 __ |a AUSTL |d TH-39/M954