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• 200 0_ |a 集成微纳系统的前沿技术 |A ji cheng wei na xi tong de qian yan ji shu |d = Advanced technology of micro - nano integrated systems |f 张海霞, 张晓升, 杨卓青编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 北京大学出版社 |d 2023

• 215 __ |a 362页 |c 图 |d 23cm

• 300 __ |a 21世纪微电子学专业规划教材

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 微电子学是一门发展十分迅猛的学科，同时也是与新兴的纳米技术等结合十分紧密的交叉学科，因此越来越具有在尺度上是跨微米向纳米甚至是深亚纳米发展、在功能上是向着电子、机械以及生物等系统功能的集成方向发展，同时这也是一门十分典型的实验学科，需要结合大量的实验动手才能够掌握其精髓。所以我们的课程是《集成微纳系统实验班》，这本教材和课程的主旨一样：主要针对微电子学的发展及时补充完善微电子学的范畴、同时结合实验教程来增进学生的感性认识、培养学生的动手能力，弥补 大多数同类教材只讲授知识、不关注实验能力且不及时更新其发展、不配有相应习题的不足，为学生和老师提供一本能够全面准确掌握微电子基础知识和能力的教科书。

• 510 1_ |a Advanced technology of micro - nano integrated systems |z eng

• 606 0_ |a 集成电路 |A ji cheng dian lu |x 微电子技术 |x 纳米技术 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 张海霞 |A zhang hai xia |4 编著

• 701 _0 |a 张晓升 |A zhang xiao sheng |4 编著

• 701 _0 |a 杨卓青 |A yang zhuo qing |4 编著

• 801 _0 |a CN |b PUL |c 20230306

• 905 __ |a AUSTL |d TN4/Z396-2